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北京
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成都市旭光电子股份有限公司 有关孙公司接到国家重点研发计划 课题研究设计任务书的通知
证券代码：600353股票简称：旭光电子公示序号：2023-059
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成都市旭光电子股份有限公司（下称“企业”）的孙公司甘肃北瓷新材料科技有限公司于近日接到中华共和国国家科技部下达的国家重点研发计划课题研究设计任务书，设计任务书基本上具体内容如下：
1、课题名称：氮化铝陶瓷成分设计与大规格辅热型静电感应强力吸盘生产和运用
2、隶属新项目：半导体材料用精湛高精密晶舟及静电感应强力吸盘研发及应用
3、隶属重点：优秀结构和复合材质
4、新项目带头承担单位：中建材高新科技氮化合物陶瓷有限公司
5、课题研究承担单位:甘肃北瓷新材料科技有限公司
6、课题负责人：陈勇平
7、执行期限：2023年11月至2026年10月
8、课题简介：针对我国半导体业对高精密静电感应强力吸盘国产化的现实需求，系统化进行12英尺单晶硅片用大规格辅热型氮化铝静电感应强力吸盘总体设计、结构陶瓷热力学和热学特性协作管控、辅热型静电感应强力吸盘生产技术、静电感应强力吸盘功能测试表现技术性等各方面的科学研究，提升静电感应强力吸盘模拟仿真总体设计、导热系数和电阻可调的成分设计方案、电解介质层和加热层共烧致密化，温度与吸附性均匀度检测等各项核心技术，实现高温度均匀性跟高吸咐均匀度氮化铝静电感应强力吸盘样品的制作，并且完成在半导体制程模拟装置里的示范应用，创建中试生产线，为产业化性能卓越氮化铝静电感应强力吸盘的产业化应用与发展打下基础。
特此公告。
成都市旭光电子股份有限公司
股东会
二○二三年十二月六日
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